氧氣傳感器

半導體臭氧感測器利用金屬氧化物薄膜（例如，基於SnO₂的薄膜或專有的混合氧化物薄膜），其表面化學性質在臭氧（O₃）存在下會發生變化。臭氧是一種強氧化劑；當它與吸附在MOS表面的氧物種相互作用時，電荷載子密度以及薄膜電阻都會改變。透過對感測層施加偏壓並測量電阻（或經過處理的電壓），即可獲得與O₃濃度相關的訊號。

電化學（EC）臭氧感測器透過催化電極上的可控氧化還原反應，將臭氧（O₃）濃度轉換為微弱電流。由於電流與臭氧分壓成正比，因此電化學感測器具有高靈敏度（ppb-ppm級）、良好的線性度、低功耗和緊湊的尺寸，使其成為固定式傳送器、便攜式/可穿戴式監測器和閉環控制的理想選擇。

臭氧感測器用於測量臭氧濃度。臭氧是一種活性氧化氣體，可用於消毒、除臭和水處理，但高濃度臭氧對人體和材料有害。精確測量對於保護工人、維持室內空氣品質 (IAQ)、驗證消毒週期以及支援環境監測的監管報告至關重要。